雙光束激光干涉儀 aixDBLI
(Double Beam Laser Interferometer)

雙光束激光干涉儀專門用于壓電薄膜的蝴蝶曲線和縱向壓電系數(shù)d33的測試。
這一臺適合于從小尺寸薄膜到8英寸晶圓表征的雙光束激光干涉儀。
半自動的系統(tǒng)用于8"晶圓上的MEMS器件的壓電性和電性相關(guān)性能的測試。
大量樣品測試的重復(fù)精度可達2%以上。

測試功能：
機電大信號應(yīng)變、極化、壓電系數(shù)、小信號介電常數(shù)。
疲勞和電性及機械性能可靠性。

樣品測試：
極化曲線和位移曲線。
小信號電容及壓電系數(shù)。

技術(shù)參數(shù)：
分辨率： ≤1 pm（X晶向的石英）
測量范圍：5pm- +/- 25nm
波長：632.8nm
位移/應(yīng)力測試：>50Hz，最小1Hz分辨率，100mV到10V（可選到200V）
壓電d33系數(shù)：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
  小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）
C-V測試：
  基電壓100mV到10V（1mHz到1Hz），可選到200V
小信號100mV到10V（1kHz到5kHz）